聚焦前沿技術(shù) 共探半導(dǎo)體痕量成分檢測新路徑
2025年7月17日，“質(zhì)析毫微?譜繪萬象”半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會在中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所學(xué)術(shù)交流中心隆重舉行。本次會議由中國物理學(xué)會質(zhì)譜分會、北京雪迪龍科技股份有限公司聯(lián)合主辦，中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所、分析測試百科網(wǎng)、中國儀器儀表學(xué)會分析儀器分會質(zhì)譜儀器專家組協(xié)辦，吸引了眾多科研院所、高校專家學(xué)者，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)技術(shù)負(fù)責(zé)人，檢測儀器研發(fā)精英等齊聚一堂，共同探討半導(dǎo)體檢測技術(shù)的前沿動態(tài)與國產(chǎn)化發(fā)展之路。
半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會參會人員合影
半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會
會議伊始，分析測試百科網(wǎng)總經(jīng)理卞利萍女士作為本次盛會的主持人，用飽滿的熱情迎接各位與會嘉賓。隨后，中國物理學(xué)會質(zhì)譜分會理事長方向、上海市科委科技基礎(chǔ)設(shè)施與平臺建設(shè)處處長張露璐、北京雪迪龍科技股份有限公司董事長敖小強(qiáng)以及中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所所務(wù)委員黃鶴飛依次上臺發(fā)表精彩致辭，為本次會議拉開帷幕。
中國物理學(xué)會質(zhì)譜分會理事長 方向
中國物理學(xué)會質(zhì)譜分會理事長方向在致辭中強(qiáng)調(diào)，質(zhì)譜技術(shù)在我國材料、半導(dǎo)體以及生命科學(xué)等諸多領(lǐng)域都具有極為重要的意義，而近年來質(zhì)譜技術(shù)的國產(chǎn)化替代和突破已成為各界關(guān)注的焦點(diǎn)。方向提到，我國在推動質(zhì)譜技術(shù)國產(chǎn)化方面已取得重要進(jìn)展，得到了國家的大力支持，眾多企業(yè)家懷著責(zé)任感和使命感，抓住市場機(jī)遇，推動國產(chǎn)質(zhì)譜技術(shù)的發(fā)展。
北京雪迪龍科技股份有限公司董事長 敖小強(qiáng)
北京雪迪龍科技股份有限公司董事長敖小強(qiáng)，強(qiáng)調(diào)了此次研討會對于雪迪龍而言意義非凡，尤其是與中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所共同成立飛行時間二次離子質(zhì)譜上海應(yīng)用中心，這不僅是雪迪龍與科研院所的一次重要合作，也是推動國產(chǎn)科學(xué)儀器發(fā)展的重要一步。雪迪龍作為行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，致力于推動國產(chǎn)儀器的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，助力半導(dǎo)體檢測技術(shù)的自主可控。他希望通過此次研討會，與各位專家共同探討如何推動高端科學(xué)儀器發(fā)展，特別是在半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域。
中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所所務(wù)委員 黃鶴飛
中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所所務(wù)委員黃鶴飛在會上致辭，對與會嘉賓表示歡迎，并感謝主辦及協(xié)辦單位對會議的支持。上海應(yīng)用物理研究所自成立以來，始終以國家戰(zhàn)略需求為導(dǎo)向，深耕核科學(xué)技術(shù)與新能源領(lǐng)域，已成為國際領(lǐng)先的釷基熔鹽堆研發(fā)中心。研究所的分析測試中心以二次離子質(zhì)譜（SIMS）為代表的痕量成分檢測平臺，長期服務(wù)于半導(dǎo)體材料和新能源器件等領(lǐng)域。黃鶴飛強(qiáng)調(diào)，高端檢測儀器的國產(chǎn)化對于保障我國產(chǎn)業(yè)鏈安全至關(guān)重要，研究所將與各方攜手，推動技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級。
分析測試百科網(wǎng)總經(jīng)理卞利萍主持本次會議
在開幕致辭之后，舉行了一場意義非凡的揭牌儀式。北京雪迪龍科技股份有限公司與中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所攜手共建“飛行時間二次離子質(zhì)譜上海應(yīng)用中心”。這一合作標(biāo)志著產(chǎn)學(xué)研深度融合邁出了堅實一步，為我國半導(dǎo)體檢測技術(shù)邁向自主可控注入了強(qiáng)大動力。雙方將共同致力于質(zhì)譜技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用，推動國產(chǎn)儀器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的高端化發(fā)展。
飛行時間二次離子質(zhì)譜上海應(yīng)用中心揭牌
主題報告環(huán)節(jié)——
演講嘉賓：中國物理學(xué)會質(zhì)譜分會理事長 方向
中國物理學(xué)會質(zhì)譜分會理事長方向帶來了題為“質(zhì)譜技術(shù)與儀器發(fā)展及展望”的報告。
方向表示，質(zhì)譜技術(shù)從發(fā)明至今已有一百多年歷史，其發(fā)展受到應(yīng)用需求和技術(shù)遷移的雙重牽引。近年來，隨著食品安全、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域的需求增長，質(zhì)譜技術(shù)在新材料、生命科學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用也日益廣泛，推動了技術(shù)的不斷創(chuàng)新和發(fā)展。他強(qiáng)調(diào)，質(zhì)譜技術(shù)在半導(dǎo)體材料分析、生命科學(xué)、高純材料檢測等方面具有重要應(yīng)用，未來的發(fā)展將更加注重高時空分辨、高靈敏度和高選擇性等方向。
演講嘉賓：雪迪龍副總工程師 張倩暄
雪迪龍副總工程師張倩暄帶來了題為“基于CRDS等技術(shù)的半導(dǎo)體解決方案”的報告。
雪迪龍的主營業(yè)務(wù)涵蓋環(huán)境監(jiān)測、碳監(jiān)測碳計量、工業(yè)過程分析、科學(xué)儀器和環(huán)境綜合服務(wù)五大板塊。雪迪龍基于光譜、色譜、質(zhì)譜等技術(shù)開發(fā)了多種分析儀器，如飛行時間質(zhì)譜儀、二次離子質(zhì)譜儀和傅里葉紅外光譜儀等，助力科學(xué)研究。
針對半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中遇到痕量成分檢測的難題，雪迪龍推出了基于光腔衰蕩光譜（CRDS）的痕量氣體分析儀、以及用于晶圓表面污染檢測的飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）等，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對痕量雜質(zhì)檢測的高靈敏度和高精度要求。
演講嘉賓：中國科學(xué)院化學(xué)研究所 汪福意研究員
中國科學(xué)院化學(xué)研究所的汪福意研究員帶來了題為“TOF-SIMS在新能源材料領(lǐng)域應(yīng)用”的報告。
汪福意表示，TOF-SIMS技術(shù)能夠提供高空間分辨率和高靈敏度的分析，適用于研究材料的表面和界面特性，尤其是在新能源材料的成分和結(jié)構(gòu)分析中具有獨(dú)特優(yōu)勢。他還分享了其團(tuán)隊在TOF-SIMS技術(shù)應(yīng)用于新能源材料領(lǐng)域的研究成果，包括對鋰離子電池、鈉離子電池等材料的界面分析，以及通過深度剖析技術(shù)研究材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能關(guān)系。研究表明，TOF-SIMS技術(shù)能夠揭示材料內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分分布，為新能源材料的研發(fā)提供了重要的技術(shù)支持。
演講嘉賓：中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所高級工程師 汪雪
中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所高級工程師汪雪博士帶來題為“應(yīng)物所SIMS平臺特色與典型成果”的報告。
她重點(diǎn)介紹了所內(nèi)SIMS平臺的特色和應(yīng)用成果，包括氣體保護(hù)進(jìn)樣系統(tǒng)、熔鹽中雜質(zhì)氧的檢測方法開發(fā)、高合金中元素擴(kuò)散行為研究等，并分享了SIMS平臺在服務(wù)熔鹽堆項目、能源領(lǐng)域?qū)ｍ?、上海光源重大項目以及為其他單位提供測試服務(wù)方面的典型案例。
演講嘉賓：英國KORE公司總經(jīng)理Stephen James Mullock
雪迪龍子公司英國KORE公司總經(jīng)理Stephen James Mullock博士帶來了題為“TOF-SIMS-An essential technique for a modern surface science laboratory”的報告。
Stephen博士介紹了飛行時間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）在現(xiàn)代表面科學(xué)研究中的重要性，指出該技術(shù)是表面分析實驗室不可或缺的一部分，而表面分析對于半導(dǎo)體行業(yè)、涂層技術(shù)以及任何需要材料粘附的領(lǐng)域都至關(guān)重要。
此外，Stephen博士還介紹了TOF-SIMS在分子信息獲取和高空間分辨率方面的優(yōu)勢，分享了KORE公司在TOF-SIMS儀器設(shè)計上的創(chuàng)新，以及為滿足特定用戶需求而提供的定制化服務(wù)。
演講嘉賓：中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 汪正研究員
中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所的汪正研究員帶來題為“等離子體質(zhì)譜在半導(dǎo)體用高純材料的分析研究”的報告。
汪正研究員首先介紹了其課題組在等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）領(lǐng)域的研究歷程和設(shè)備情況，強(qiáng)調(diào)了ICP-MS在半導(dǎo)體材料分析中的重要性。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，對材料純度的要求越來越高，尤其是金屬雜質(zhì)的控制對半導(dǎo)體性能有著至關(guān)重要的影響。他詳細(xì)介紹了ICP-MS技術(shù)在檢測半導(dǎo)體材料中痕量金屬雜質(zhì)方面的優(yōu)勢，包括高靈敏度、高分辨率和多元素同時分析能力。
演講嘉賓：中國科學(xué)院化學(xué)研究所 張燕燕副研究員
中國科學(xué)院化學(xué)研究所的張燕燕副研究員帶來了題為“原位液相二次離子質(zhì)譜”的報告，分享了原位液相二次離子質(zhì)譜技術(shù)在鈣礦半導(dǎo)體前驅(qū)體溶液老化機(jī)制、膜分離界面離子傳輸機(jī)制以及電極電解液界面電化學(xué)反應(yīng)機(jī)制等領(lǐng)域的應(yīng)用案例。
張燕燕介紹了其團(tuán)隊在原位液相二次離子質(zhì)譜技術(shù)開發(fā)及應(yīng)用方面的研究成果。傳統(tǒng)的二次離子質(zhì)譜技術(shù)主要用于固體表面分析，而其團(tuán)隊通過創(chuàng)新性地將該技術(shù)拓展至液相體系，成功解決了液體在真空環(huán)境下快速蒸發(fā)的技術(shù)難題，實現(xiàn)了對溶液化學(xué)及動態(tài)物理化學(xué)界面的原位分析。
演講嘉賓：英國KORE公司技術(shù)專家Douglas Fraser Reich
雪迪龍子公司英國KORE公司技術(shù)專家Douglas Fraser Reich帶來了題為“The Applications of TOF -SIMS in Materials Science”的報告。
Fraser博士分享了他在過去25年中利用飛行時間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）技術(shù)解決材料科學(xué)問題的豐富經(jīng)驗，介紹了TOF-SIMS在表面化學(xué)、粘附性、多層薄膜、藥物傳遞以及半導(dǎo)體中低水平元素的分布和同位素標(biāo)記等領(lǐng)域的應(yīng)用。通過實際案例，展示了TOF-SIMS在工業(yè)問題解決中的強(qiáng)大能力。
在主題報告結(jié)束后，參會人員分組前往SIMS實驗室進(jìn)行參觀，近距離了解實驗室的運(yùn)行情況和先進(jìn)設(shè)備。
參會人員參觀SIMS實驗室
實驗室工作人員詳細(xì)介紹了SIMS技術(shù)的操作流程、數(shù)據(jù)分析方法以及在實際應(yīng)用中的注意事項。參觀結(jié)束后，部分嘉賓參加了閉門會議，圍繞“如何打破高端SIMS設(shè)備的‘卡脖子’困局”這一主題展開了深入討論。與會專家和企業(yè)代表從技術(shù)研發(fā)、人才培養(yǎng)、市場推廣等多個角度提出了寶貴的意見和建議，為我國高端SIMS設(shè)備的自主可控發(fā)展提供了有益的參考。
本次“質(zhì)析毫微?譜繪萬象”半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會圓滿落幕。半導(dǎo)體檢測技術(shù)的自主可控是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵，通過加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作、推動技術(shù)創(chuàng)新和人才培養(yǎng)，我國有望在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會
半導(dǎo)體痕量成分檢測技術(shù)交流會的成功舉辦不僅為行業(yè)專家、學(xué)者和企業(yè)代表提供了一個交流合作的平臺，也為我國半導(dǎo)體檢測技術(shù)的自立自強(qiáng)注入了新的活力。相信在各方的共同努力下，我國半導(dǎo)體檢測技術(shù)將迎來更加廣闊的發(fā)展前景，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)更多中國智慧和中國力量。
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焦點(diǎn)事件
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企業(yè)風(fēng)采
