電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵、管道、真空閥門和真空測(cè)量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞，增加燈絲壽命，所以必須高度關(guān)注真空系統(tǒng)，定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值，或是打開真空監(jiān)控器（Gun　Monitor）實(shí)時(shí)監(jiān)控真空值。對(duì)于ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡，需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常狀態(tài)需進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng)，如檢查各真空系統(tǒng)部件或進(jìn)行烘烤操作，具體方法如下：

（1）觀察真空裝置的啟動(dòng)順序及啟動(dòng)時(shí)間。ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡真空的啟動(dòng)順序?yàn)闄C(jī)械泵、渦輪分子泵、潘寧規(guī)、離子泵。一般換試樣抽真空時(shí)間為3min。如時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，需檢查真空裝置是否為異常啟動(dòng)情況。

（2）判斷分子泵前級(jí)泵的工作狀態(tài)。定期查看分子泵的功率狀態(tài)，操作方法為：打開分子泵控制器，查看分子泵功率，若小于10W，則分子泵前級(jí)泵（機(jī)械干泵）無(wú)過(guò)多附加阻力，為正常狀態(tài)；否則，說(shuō)明前級(jí)泵存在過(guò)多負(fù)載。

（3）機(jī)械干泵的維護(hù)。機(jī)械干泵中密封圈為易耗品，隨著機(jī)械摩擦?xí)r間的增加，密封圈變小，給分子泵帶來(lái)過(guò)多負(fù)載，抽真空時(shí)間變長(zhǎng)。一般情況下，機(jī)械干泵的維護(hù)需在1～2a（年）內(nèi)進(jìn)行，即更換密封圈。

（4）若以上問題均可排除，則可考慮進(jìn)行烘烤操作，以提高真空度。

以ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡真空異常情況為例，解釋說(shuō)明真空故障排除的思路。

在轉(zhuǎn)換高壓或更換試樣時(shí)發(fā)現(xiàn)抽真空時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，有時(shí)甚至可達(dá)十幾分鐘或半小時(shí)。于是，首先檢查樣品室O型圈是否脫落，排查機(jī)械密封問題；然后更換潔凈、體積小的待測(cè)試樣排查特殊試樣干擾，然后查看真空值大小及階段性抽真空速度，判斷機(jī)械泵或離子泵等真空泵的狀態(tài)；如均無(wú)異?，F(xiàn)象則進(jìn)一步觀察電鏡操作軟件中真空狀態(tài)的提示，判斷是否為分子泵控制器的問題或其他硬件問題；如仍未發(fā)現(xiàn)規(guī)律性可疑問題則與維修工程師聯(lián)系，最后重新插拔了高壓線接觸點(diǎn)，解決了該真空故障問題。