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DIN ISO 15472 E:2019-09
表面化學(xué)分析 X 射線光電子能譜儀 能標(biāo)校準(zhǔn)

Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales

2020-05

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
DIN ISO 15472 E:2019-09
發(fā)布
2019年
總頁(yè)數(shù)
35頁(yè)
發(fā)布單位
德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)
替代標(biāo)準(zhǔn)
DIN ISO 15472:2020
當(dāng)前最新
DIN ISO 15472:2020-05
 
 
引用標(biāo)準(zhǔn)
ISO 18115-1
 
 
本體
X射線光電子能譜儀
適用范圍
本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種方法,用于校準(zhǔn)X射線光電子能譜儀的束縛能刻度,適用于一般分析目的,使用未單色化的Al或Mg X射線或單色化的Al X射線。本標(biāo)準(zhǔn)僅適用于配備離子槍進(jìn)行濺射清潔的儀器。本標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了一種方法來(lái)建立校準(zhǔn)計(jì)劃,測(cè)試一個(gè)中間能量的束縛能刻度線性度,確認(rèn)一個(gè)低和一個(gè)高束縛能值的刻度校準(zhǔn)不確定性,校正該刻度的微小漂移,并定義束縛能刻度校準(zhǔn)的擴(kuò)展不確定性,置信水平為95%。此不確定性包括實(shí)驗(yàn)室間研究中觀察到的行為貢獻(xiàn),但不涵蓋所有可能出現(xiàn)的缺陷。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于束縛能刻度誤差顯著非線性的儀器,減速比小于10的恒定減速比模式下操作的儀器,光譜儀分辨率差于1.5 eV的儀器,或需要公差限在±0.03 eV或更小的儀器。本標(biāo)準(zhǔn)不提供完整的校準(zhǔn)檢查,后者將確認(rèn)能量刻度上每個(gè)可尋址點(diǎn)測(cè)量的能量,并必須按照制造商的推薦程序執(zhí)行。
術(shù)語(yǔ)描述
束縛能
binding energy
電子從原子中移除所需的能量。
X射線光電子能譜
X-ray photoelectron spectroscopy
一種用于分析材料表面元素組成和化學(xué)狀態(tài)的技術(shù)。
校準(zhǔn)
calibration
調(diào)整儀器以使其測(cè)量結(jié)果與已知標(biāo)準(zhǔn)一致的過(guò)程。
線性度
linearity
儀器響應(yīng)與輸入信號(hào)之間的線性關(guān)系。
不確定性
uncertainty
測(cè)量結(jié)果的可信度范圍。

DIN ISO 15472 E:2019-09 中提到的儀器設(shè)備

X射線光電子能譜儀

未指定
用于測(cè)量材料表面元素組成和化學(xué)狀態(tài)的儀器。

專題


DIN ISO 15472 E:2019-09相似標(biāo)準(zhǔn)





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