DIN 50452-2:1991
半導(dǎo)體工藝材料的檢驗(yàn).液體中顆粒分析的試驗(yàn)方法.第2部分:用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器對(duì)顆粒的測(cè)定

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters

作廢

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

DIN 50452-2:1991

發(fā)布

1991年

總頁數(shù)

4頁

發(fā)布單位

德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

DIN 50452-2:2009

DIN 50452-2 E:2008

當(dāng)前最新

DIN 50452-2:2009-10

 

 

適用范圍

該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器測(cè)定液體中粒子濃度的測(cè)試方法。

DIN 50452-2:1991 中可能用到的儀器設(shè)備

專題

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