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ISO 6145-7:2001
氣體分析 用動(dòng)態(tài)容量法制備標(biāo)定用混合氣體 第7部分:熱質(zhì)流控制儀

Gas analysis - Preparation of calibration gas mixtures using dynamic volumetric methods - Part 7: Thermal mass-flow controllers


標(biāo)準(zhǔn)號
ISO 6145-7:2001
發(fā)布
2001年
總頁數(shù)
20頁
發(fā)布單位
國際標(biāo)準(zhǔn)化組織
替代標(biāo)準(zhǔn)
ISO 6145-7:2009
當(dāng)前最新
ISO 6145-7:2018
 
 
適用范圍
ISO 6145 的這一部分規(guī)定了一種使用市售熱質(zhì)量流量控制器從純氣體或其他氣體混合物中連續(xù)生產(chǎn)含有兩種或多種成分的校準(zhǔn)氣體混合物的方法。 通過將流量控制器上的設(shè)定點(diǎn)調(diào)整為預(yù)定值,可以以連續(xù)可變的方式快速改變氣體混合物的成分。 通過選擇適當(dāng)?shù)臒豳|(zhì)量流量控制器組合并使用純氣體,補(bǔ)充氣體中感興趣組分的體積分?jǐn)?shù)可以變化 1 000 倍。 獲得測量的相對擴(kuò)展不確定度 U將相對組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度乘以覆蓋因子 k = 2,則不大于 2%。 如果使用預(yù)混合氣體代替純氣體,可以獲得低于 10 的摩爾分?jǐn)?shù)。 質(zhì)量流量的測量不是絕對的,流量控制器需要獨(dú)立校準(zhǔn)。 該方法的優(yōu)點(diǎn)是可以連續(xù)制備大量氣體混合物,并且如果使用適當(dāng)數(shù)量的熱質(zhì)量流量控制器,可以像二元混合物一樣容易地制備多組分混合物。 基于熱質(zhì)量流量控制器的氣體混合系統(tǒng)以及一些包括計(jì)算機(jī)化和自動(dòng)控制設(shè)施的氣體混合系統(tǒng)是商業(yè)上可獲得的。

ISO 6145-7:2001相似標(biāo)準(zhǔn)


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