掃描電鏡是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng),濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計(jì)算機(jī)控制技術(shù)。掃描電鏡的基本工作過(guò)程用電子束在樣品表面掃描,同時(shí)陰極射線管內(nèi)的電子束與樣品表面的電子束同步掃描,將電子束在樣品上激發(fā)的各種信號(hào)用探測(cè)器接收,并用它來(lái)調(diào)制顯像管中掃描電子束的強(qiáng)度,在陰極射線管的屏幕上就得到了相應(yīng)襯度的掃描電子顯微像。...
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