DIN 50451-3:2003
半導體工藝用材料測試.液體中痕量元素測定.第3部分:用電感耦合等離子體質譜法測定硝酸中鋁(AL)、鈷(Co)、銅(Cu)、鈉(Na)、鎳(Ni)和鋅(Zn)的含量
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Aluminium (Al), cobalt (Co), copper (Cu), sodium (Na), nickel (Ni) and zinc (Zn) in nitric acid by ICP-MS
- 標準號
- DIN 50451-3:2003
- 發(fā)布
- 2003年
- 發(fā)布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN 50451-3:2014
- DIN 50451-3 E:2012
- 當前最新
- DIN 50451-3:2014-11
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