:φ250㎜主顯微鏡立柱的傾斜范圍:±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍:±90°分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值:30″測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值:1′輪廓 目鏡角度分度值:±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值:30′測量準(zhǔn)確度(被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃):(1+L/100)μm,其中L為測量長度,單位:㎜ 光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù)...
:±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍:±90°分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值:30″測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值:1′輪廓目鏡角度分度值:±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值:30′測量準(zhǔn)確度(被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃):(1+L/100)μm,其中L為測量長度,單位:㎜ 光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù):測桿垂直方向擺動范圍:±3°...
:φ250㎜ 主顯微鏡立柱的傾斜范圍:±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍:±90° 分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值:30″ 測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值:1′ 輪廓目鏡角度分度值:±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值:30′ 測量準(zhǔn)確度(被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃): (1+L/100)μm,其中L為測量長度,單位:㎜...
:±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍:±90°分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值:30″測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值:1′輪廓目鏡角度分度值:±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值:30′測量準(zhǔn)確度(被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃):(1+L/100)μm,其中L為測量長度,單位:㎜ 光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù):測桿垂直方向擺動范圍:±3°...
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