離子 質(zhì)譜 檢測(cè) 法
本專題涉及離子 質(zhì)譜 檢測(cè) 法的標(biāo)準(zhǔn)有5條。
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類中，離子 質(zhì)譜 檢測(cè) 法涉及到半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體分立器件。
在中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類中，離子 質(zhì)譜 檢測(cè) 法涉及到半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、、電子技術(shù)專用材料。
國(guó)家質(zhì)檢總局，關(guān)于離子 質(zhì)譜 檢測(cè) 法的標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 24580-2009 重?fù)絥型硅襯底中硼沾污的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法
- GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法
- GB/T 32650-2016 電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素
中國(guó)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，關(guān)于離子 質(zhì)譜 檢測(cè) 法的標(biāo)準(zhǔn)
- T/CASAS 010-2019 氮化鎵材料中痕量雜質(zhì)濃度及分布的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法
- T/CASAS 009-2019 半絕緣碳化硅材料中痕量雜質(zhì)濃度及分布的二次離子質(zhì)譜檢測(cè)方法
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可能用到的儀器設(shè)備
