單晶 碳化硅

本專題涉及單晶 碳化硅的標準有2條。

國際標準分類中，單晶 碳化硅涉及到。

在中國標準分類中，單晶 碳化硅涉及到。

國際半導體協(xié)會，關(guān)于單晶 碳化硅的標準

• SEMI M55-0308-2008 拋光單晶碳化硅晶片規(guī)范
• SEMI M81-0611-2011 單晶碳化硅基板上的缺陷指南

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