Carburo de silicio monocristalino

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• SEMI M55-0308-2008 ESPECIFICACIóN PARA OBLEAS DE CARBURO DE SILICIO MONOCRISTALINO PULIDO
• SEMI M81-0611-2011 GUíA DE DEFECTOS ENCONTRADOS EN SUSTRATOS DE CARBURO DE SILICIO MONOCRISTALINO

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