SJ/T 11502-2015
碳化硅單晶拋光片規(guī)范
Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
SJT11502-2015, SJ11502-2015
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- SJ/T 11502-2015
- 別名
- SJT11502-2015, SJ11502-2015
- 發(fā)布
- 2015年
- 總頁(yè)數(shù)
- 17頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)-電子
- 當(dāng)前最新
- SJ/T 11502-2015
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14264 GB/T 30866 GB/T 30867 GB/T 30868 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621
- 本體
- 微管
- 適用范圍
- 本規(guī)范規(guī)定了碳化硅單晶拋光片的術(shù)語(yǔ)和定義、牌號(hào)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、貯存和運(yùn)輸?shù)葍?nèi)容。本規(guī)范適用于晶型為GE和4H，單面或雙面拋光，直徑100 mm及以下的碳化硅單晶拋光片。其它晶型或尺寸的碳化硅單晶拋光片可參照使用。
| 術(shù)語(yǔ) | 描述 |
|---|---|
| 微管 Micropipe | 在碳化硅單晶中產(chǎn)生的一種中空的細(xì)管，其徑向尺寸從納米到微米量級(jí)，腐蝕后在顯微鏡下觀察呈六邊形，其對(duì)碳化硅器件具有嚴(yán)重的制約作用。 |
| 微管密度 Micropipe Density | 單位面積內(nèi)微管的數(shù)量，是碳化硅單晶拋光片的重要質(zhì)量指標(biāo)之一。 |
| 參考面 Reference Face | 用于確定碳化硅單晶拋光片表面取向和晶格位置的特定面。 |
| 主參考面 Main Reference Face | 碳化硅單晶拋光片中用于確定主要取向的參考面，通常平行于[1120]或[1100]晶面。 |
| 副參考面 Sub Reference Face | 用于輔助確定表面取向的參考面，與主參考面有特定的角度關(guān)系。 |
SJ/T 11502-2015 中提到的儀器設(shè)備
| 外徑千分尺 分度值為0.02 mm | 用于測(cè)量碳化硅單晶片直徑的測(cè)量工具。 |
| 非接觸式電阻率測(cè)試儀 | 用于測(cè)量碳化硅單晶材料電阻率的設(shè)備，基于電容充放電原理。 |
專題
SJ/T 11502-2015相似標(biāo)準(zhǔn)
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